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是一种简略，经济，疾速高效的资料外表洗濯装备，能疾速去除大大都无机基材（比方石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等）上的无机净化物。它经常使用于扫描探测显微镜的样品利用，该装备能用于洗濯原子力显微镜探针，扫描探针显微镜规范和外表上惯例的油渍层和残留的无机资料，也能用来转变物体外表的疏水性，有助于部件和外表的化学改性，颠末氧化和软化处置的探针有益于在扫描进程中坚持探针的多少外形，削尖的探针有益于进步侧向分辩率。
臭氧洗濯机装备已用于纳米手艺，化学，生物学，光学，电子学，半导体和其余环球规模内的迷信尝试室。
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的特色：
1、UVO根本型接纳可编程数字节制器，设置操纵简略便利，四键操纵节制。UVOP和UVOT系列接纳5寸黑色触摸屏设置显现计时时候及加热温度。
2、主动弥补功效，主动恒定光强光密度，不会由于高压汞灯老化光强衰减影响洗濯结果。
3、数字倒计时显现洗濯时候，1-999分钟之间可自行设置洗濯时候。
4、可随时手动间断处置进程。
5、主动记实之前洗濯参数设置。
6、样品台可控温（可选），控温规模RT-260℃，控温精度0.1℃。
7、顶置下压式搭钮开关盖体例，操纵简略便利。
8、上置模样形状品台设想，360度自在安排样品，操纵便利。
9、样品台高度可调，经由过程调理灯与样品之间的间距，能够公道定位样品高度和地位，并可锁定。
10、UV石英高压汞蒸汽格栅灯，灯管寿命约莫为8000小时。
11、高强度UV灯源，波长185nm和254nm。
12、UV反射罩（长x宽）比UV格栅灯大2.5cm，比方规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm。
13、两重宁静掩护，当洗濯腔翻开时，体系宁静锁会关掉UV灯，并有灯光通断提醒。
14、带进&出气口双气路设想，可接入氧气或臭氧，增添臭氧产量。
15、UVO5可选外置臭氧中和器，UVO9、UVO12系列可选外置或内置臭氧中和器，用于臭氧断根。
16、可按照客户请求定制铝或石英资料真空反映腔。
